擦除系統(tǒng) 型號:PC
PC系列產(chǎn)品適用于大批量EPROM擦除的需求。它們采用超高強度無臭氧格式紫外燈管,可產(chǎn)生四倍于競爭者的紫外線強度。所有六種型號適用于PC板及3"-12"(75-300mm)的半導體wafer晶圓。而且,PC-3300A, PC-4400A, PC-4420A 及 PC-8820B 具有開口結(jié)構(gòu),方便取放。
技術(shù)參數(shù) Wafer擦除
型號 |
一次可擦除EPROM數(shù) |
紫外強度 (uw/cm2) |
內(nèi)置抽斗尺寸 |
PC-1100A |
84 |
18,500 |
8-3/8W x 12L x 1-3/8"H (21.3W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-2200A |
168 |
18,500 |
16-3/8W x 12L x 1-3/8"H (41.6W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-3300A |
252 |
18,500 |
24-3/8W x 12L x 1-3/8"H (61.9W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-4400A |
336 |
18,500 |
32-3/8W x 12L x 1-3/8"H (82.2W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-4420A |
336 |
25,000 |
32-3/8W x 12L x 1-3/8"H (82.2W x 30.5L x 3.5cmH) |
PC-8820B |
840 |
70,000* |
(32-3/8W x 26-3/4L x 1-3/8"H) (82.2W x 67.9L x 3.5cmH) | 用 IL1400A紫外強度計及紫外傳感器測量
型號 |
外形尺寸 |
凈重 |
PC-1100A |
12-1/4W x 18L x 8-3/8"H (31.1W x 45.7L x 21.3cmH) |
26 lbs. (11.8kg) |
PC-2200A |
20-1/4W x 18L x 8-3/8"H (51.4W x 45.7L x 21.3cmH) |
37 lbs. (16.8kg) |
PC-3300A |
28-1/4W x 18L x 8-3/8"H (71.8W x 45.7L x 21.3cmH) |
52 lbs. (23.6 kg) |
PC-4400A |
36-1/4W x 18L x 8-3/8"H (92.1W x 45.7L x 21.3cmH) |
65 lbs. (29.5 kg) |
PC-4420A |
36-1/4W x 16-1/4L x 11"H (92.1W x 41.3L x 27.9cmH) |
140 lbs. (63.5 kg) |
PC-8820B |
(36W x 33-1/4L x 15-1/2"H) ( 91.4W x 84.5L x 39.4cmH) |
275 lbs. (124.7 kg) |
所需的擦除時間(分鐘)
|
擦除能量 |
擦除EPROM數(shù)* |
型號 |
6W-sec cm2 |
10W-sec cm2 |
15W-sec cm2 |
PC-1100A |
5.4 |
9.0 |
13.5 |
1片-全負荷 |
PC-2200A |
PC-3300A |
PC-4400A |
PC-4420A |
4.0 |
6.7 |
10.0 |
1片-全負荷 |
PC-8820B |
2.5 |
4.2 |
6.3 |
1片-全負荷 | |
* 基于 24-針 EPROM |
擦除時間(分鐘) = 擦除能量(W-sec/cm2) x 1,000,000 紫外強度 (uw/cm2) x 60 |
注:所有產(chǎn)品滿足UL安全認可,而且 PE系列為CSA認可. 技術(shù)規(guī)格變化恕不另行通知。 | |

|