橢偏儀 型號:SE500
主要用途、功能及特點(diǎn)
SE500型橢偏儀結(jié)合了橢偏儀和反射儀的優(yōu)勢。采用白色光源的光譜裝置與橢偏儀相結(jié)合的形式，來分析同一測量點(diǎn)的薄膜，從而提高了層厚測量的正確性，擴(kuò)展了薄膜厚度快速測量范圍。對橢圓偏振模式的計(jì)算，能夠快速地確定其起始值，并能測量出各向同性透明薄膜的色散曲線。與多波長的橢偏儀相比較提供了一個(gè)可選擇的測量方法。高精度的SE500型橢偏儀可測量晶片上自然氧化物薄膜的厚度和折射率。SE500型橢偏儀可作為不連續(xù)波長橢偏儀，也可作為組合式的橢偏儀與反射儀。提供了標(biāo)準(zhǔn)橢偏儀不能達(dá)到的靈活的功能。▪ 各種信息功能材料和器件的光學(xué)常數(shù)測量和光譜學(xué)特性分析▪ 薄膜材料的表面、界面特性、厚度以及粗糙度分析▪ 借助光學(xué)常數(shù)，對信息功能材料的組份進(jìn)行測量和分析▪ 半導(dǎo)體材料的實(shí)時(shí)、在線工藝質(zhì)量檢測、評估和分析▪ 用于研究和教學(xué)目的，各種光學(xué)偏振狀態(tài)的測量、試驗(yàn)和分析主要技術(shù)參數(shù)
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標(biāo)準(zhǔn)光源波長 |
632.8nm |
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單層透明薄膜厚度可測量范圍 |
0 ~ 6000nm |
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吸光性薄膜厚度測量范圍 |
0 ~ 2000nm |
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薄膜厚度的測量精度 |
0.1nm |
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折射率測量精度 |
0.0005 |
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測量時(shí)間 |
250ms ~ 1.5s（用戶可選擇） |
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入 射 角 |
40° ~ 90°，（5°步進(jìn)） |
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長期穩(wěn)定性(月) |
0.1°（Δ） |
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樣 品 臺 |
帶有真空吸盤的15cm 載物臺 |
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樣品校準(zhǔn) |
“ESA” 輕松的樣品校準(zhǔn) |
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帶有樣品傾斜和高度校準(zhǔn)的自動(dòng)校準(zhǔn)鏡 | |
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軟 件 |
SENTECH公司的 SE400 橢偏儀軟件 |
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單膜的多角測量和厚度分析 |
厚度和折射率 |
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單膜的厚度、折射率和消光系數(shù) | |
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數(shù) 據(jù) 庫 |
632.8nm 的折射率 |
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附加選項(xiàng) |
用于樣品同步校準(zhǔn)與檢測的攝像機(jī) |
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30µm 微區(qū) | |
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可選波長：0.4µm，1.55µm | |
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自動(dòng)聚焦，仿真軟件 |
