氦質(zhì)譜檢漏儀(雙口型） 型號(hào)：ZLS-26D-S
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
ZLS-26D/T（雙口型）氦質(zhì)譜檢漏儀是為適應(yīng)生產(chǎn)線上快速工作的要求而研制的。其和ZLS-26D/T相比，真空系統(tǒng)和電路基本相同，檢漏指標(biāo)也相當(dāng)，只是多一套輔助系統(tǒng)。每一套輔助系統(tǒng)均可單獨(dú)完成對(duì)工件的“初抽—檢漏—放氣”這樣一個(gè)完整的檢漏工作周期。
主要技術(shù)參數(shù)：
有兩個(gè)檢漏接口
儀器最小可檢漏率：優(yōu)于5～10^-12Pa～m^3/s
儀器最大可檢漏率：2×10^-1Pa～m^3/s
儀器漏率顯示范圍：2×10^-1～2×10^-13Pa～m^3/s
儀器的反應(yīng)時(shí)間： 不大3s
儀器質(zhì)譜室允許工作的最高壓強(qiáng)：1×10^-2Pa
儀器測(cè)試口允許工作的最高壓強(qiáng)：1000Pa
被檢件由粗抽至檢清的自動(dòng)切換點(diǎn)（檢漏點(diǎn)）可調(diào)范國(guó)：50～10^-1Pa
音響器報(bào)警點(diǎn)設(shè)定范圍：任意
背壓法檢漏時(shí)間可調(diào)范圍：5～30s
儀器的啟動(dòng)時(shí)間： 不大于5min
儀器的輪廓尺寸： 640*550*980 mm^3
儀器的重量： 約100Kg
