氦質(zhì)譜檢漏儀 型號(hào)：SFJ-261
SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀是采用inficon技術(shù)，設(shè)備內(nèi)芯使用inficon成套質(zhì)譜模塊，SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀尤其適用于半導(dǎo)體工業(yè)精確檢漏的要求，具有啟動(dòng)快速、移動(dòng)方便、靈敏度高、性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，在定期維護(hù)、臨時(shí)檢修氣體管路和其他檢漏應(yīng)用中可快速提供檢測(cè)結(jié)果。
主要技術(shù)指標(biāo)：
最小可檢漏率：8×10ˉ13Pa·m3/s
漏率顯示范圍：1×10-2～1×10-1212Pa·m3/s
啟動(dòng)時(shí)間：≤2min
響應(yīng)時(shí)間：≤1s
檢漏口最高壓力：≤2000Pa
外型尺寸：340(W)×670(D)780(H)
優(yōu)勢(shì)：
1.無(wú)油式設(shè)計(jì)，所有的部件均無(wú)油，并在無(wú)油的條件下組裝和測(cè)試
2.方便的移動(dòng)式設(shè)計(jì)，低重心、位置適當(dāng)?shù)陌咽趾凸饣妮喞_保在工作場(chǎng)所隨意地移動(dòng)
3.可靠性甚高的真空系統(tǒng)，包括干式的機(jī)械泵以及高壓縮比的復(fù)合型分子泵
4.液晶顯示的版面設(shè)計(jì)，讓檢測(cè)結(jié)果更清晰
SFJ-261型氦質(zhì)譜檢漏儀將廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)、工業(yè)氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝、元器件在組裝前的漏率測(cè)試及要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件下的應(yīng)用場(chǎng)合。
